JC/T 2392.3-2023 石英玻璃碇 第3部分:等离子化学气相沉积法
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JC/T 2392.3-2023 石英玻璃碇 第3部分:等离子化学气相沉积法
本文件规定了等离子化学气相沉积法石英玻璃碇的分级、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本文件适用于以四氯化硅等无氢含硅化合物为原料,在等离子高温火焰中气相化学反应沉积而成的石英玻璃碇。 标准编号:JC/T...
标准简介
标准介绍:JC/T 2392.3-2023 石英玻璃碇 第3部分:等离子化学气相沉积法
本文件规定了等离子化学气相沉积法石英玻璃碇的分级、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于以四氯化硅等无氢含硅化合物为原料,在等离子高温火焰中气相化学反应沉积而成的石英玻璃碇。
标准编号:JC/T 2392.3-2023
标准名称:石英玻璃碇 第3部分:等离子化学气相沉积法
发布部门:中华人民共和国工业和信息化部
发布日期:2023-12-20
实施日期:2024-07-01
标准状态:现行
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